製程冷卻水PCW
製程冷卻水使用RO水做水源,利用低溫的水來冷卻儀器設備的高溫,循環帶走設備產生的熱,這是為了不讓機台或真空幫浦端的高溫使得冷卻水管結垢。為了保證水源的純淨,使用板式熱交換器來進行RO水的降溫。 冷卻用的冰水由冰水機產生,並利用水泵浦將水加壓使水流經板式熱交換器,與RO水做熱交換,達到降溫的功用。整套系統會不斷的在冰水機與設備端循環使用,使其不會大量被消耗。