CASE 實績案例
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儀電控制系統

半導體廠房特氣供應系統整合SCADA監控

隆忠特氣櫃控制儀電整合

今天要跟大家分享的是:半導體廠房特氣供應系統整合SCADA監控工程

在這工業與科技迅速蓬勃發展的世代,各式特殊氣體於現今已被高科技產業廣泛的應用,特別是半導體製程。其中包括:乾蝕刻、氧化、離子佈植、薄膜沉積……等技術性流程,皆會使用到相當多的特殊氣體。
也因此在這些半導體廠房,通常可見使用「特氣櫃」做為特殊氣體安全儲存、穩定供應的容器。

 

客戶遇到的困難

特殊氣體的純度對產品元件性能、良率有著決定性的影響,而特殊氣體供應過程及存放,除了攸關廠房運作能否順利進行,更是攸關廠務人員的安全。也因為這些必須避免的危險,業主對於特氣系統安全性要求特別高,必須時時留心特氣櫃是否年限已到需要汰換。
這次業主找來我們隆忠,希望可以協助特氣櫃系統更新,並且整合SCADA監控,讓廠務人員隨時可以透過螢幕介面監控特氣供應詳細數值與狀況。

 

 

隆忠提供解決辦法

台灣是半導體產業的心臟,許多半導體廠房自然會有特氣供應存儲這方面的需求,我們隆忠也接過不少相關案例。將特氣供應系統優化更符合人性化操作管理的自動控制需求,隆忠也可以協助規劃。

以此案來說,隆忠運用網路線連接特氣供應PLC自動控制系統,並將單機設備資訊傳輸SCADA監控系統,儀電整合後可使廠務人員於控制室就能知道氣櫃供應特殊氣體的種類、氣體濃度與含量.....等等細節資訊,管理方便性大大升級。

如果廠區需要,甚至可以為業主做到:工業氣體洩漏偵測警報客製化防呆控制機制......等等工廠系統客製化需求。除了提升廠務安全性,也能在氣櫃或特殊氣體發生異常的第一時間立即通知相關人員應變處理,降低災害發生機率及減少廠區損失。

 

什麼是特氣櫃

特氣櫃主要用來供應特種氣體,又稱為特殊氣體供應系統。
特氣供應系統是半導體廠房中危險性最高的一環,只要有任何的疏失都可能造成廠務人員、廠房設備的嚴重損失。特別是其中有些化學氣體可能有自燃性,只要一洩漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應並開始燃燒;某些氣體還有劇毒性,只要有任何些微的洩漏都有可能造成人員生命的危害。

 

在SCADA監控系統整合這塊領域裡我們隆忠已深耕多年,對於各種廠牌的PLC操作、軟硬體串接整合規劃工程,隆忠也都有相當豐富的經驗。
有任何特氣供應系統整合SCADA監控相關需求
隆忠提供技術諮詢服務 | 電話: 06-243-7822

 

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