BLOG 隆忠話廊
(圖)隆忠話廊

FFU?DCC?MAU?無塵室為何需要?

隆忠無塵室 潔淨室

FFU?DCC?MAU?這些是什麼?無塵室又為何需要?

一般大眾應該對「無塵室」這三個字既熟悉又陌生,熟悉可能是因為這名詞是科技業的高熱度關鍵字,在新聞上或是一些商業週刊都可能看見;陌生可能是因為不知道無塵室實際上是怎麼運作的,感覺很神秘。


今天我們就要來跟大家聊聊無塵室!

 

無塵室,又稱淨室、潔淨室或清淨室,是指一個具有低污染水準的環境。在這個環境內灰塵、空氣傳播的微生物、懸浮顆粒或化學揮發性氣體都算是汙染源,都必須受到控制。一般而言,無塵室內的空氣潔淨度數值必須保持於規範,具有一個受控的無塵室污染級別,而污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒大小來釐定。

 

無塵室內的潔淨空氣,製造的氣源為外氣(OUTSIDE AIR),再經過無塵室系統各種空氣調節過濾處理單元裝置之處理後,才能得到符合無塵規格之潔淨空氣。要深入了解無塵室,就必須先來認識這幾個空氣調節設備的縮寫,分別是:FFU / DCC / MAU

 

●FFU是什麼

FFU(Fan Filter Unit)又稱「風機過濾機組」,是一種結合送風機與高效濾網氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備。用來過濾來自作業場所中有害空氣的粉塵顆粒,為無塵或需保持低汙染源的作業環境提供所需之氣流循環與潔淨空氣。以「供電方式」加以區分的話,FFU還可分交流式 ( AC FFU )、直流式 ( DC FFU )

 

AC FFU / DC FFU有什麼分別?

AC FFU:
●群組開關/監控
●無實際運轉之效率確保能力
●無定風量輸出能力
●初設成本較低;運轉成本較高
●較為基本的控制能力 ( 如警報跳脫 )

DC FFU:
●可做到個人/群組開關監控
●可調整轉速保持風車效率及風量
●初設成本較高;運轉成本較低
●可透過監控電腦集中控制並詳細顯示風機運行狀態

FFU被廣泛用於無塵室、醫療院所、藥廠、航空業、食品業、科技製程研究單位、電子廠等等。相關實績案件可見隆忠此篇案例:PLC控制FFU系統自動化監控

●DCC是什麼

DCC(Dry Cooling Coil) 中文名稱為「乾式冷卻盤管」,簡稱為乾盤管或乾冷盤管。主要功用為控制室內溫度、消除室內顯熱(人、照明、機械等產生的熱量),除了控制室內溫度也為無塵室除濕,通常是用於供給室內迴風提供冷量的設備。
DCC乾盤管主要應用在潔淨空調系統工程,主流用在無塵室空調系統,搭配MAU出風温度,能減循環冷卻盤管冰水量,隨時反應著無塵室的熱負載。

●MAU是什麼

MAU(Make-up Air Unit) 也稱「外氣空調箱」,對無塵室環境影響最大的也就是MAU。MAU主要負責功能為控制露點、製造無塵空氣,並確保無塵室保持正壓。
在無塵室空調系統需由外界引入恆溫恆濕的新鮮空氣,因此必須透過MAU冷凝除濕、將空氣絕對濕度調節至符合無塵室需求條件方可使用,這也就是為什麼MAU控制品質會直接影響無塵室環境的原因。

 

無塵室供氣處理流程

在無塵室內能常見MAU+FFU+DCC組合系統協作的空調方式。其主要原理是將室外的風經過MAU,當MAU穩定供應設定露點之補氣時,室內之相對濕度可隨溫度達到設定值。外氣由MAU負責預濾、初濾、加濕、除濕、冷卻及再熱處理,初步過濾微塵並控制其溫溼度處理後送入潔淨室的迴風夾道內。DCC乾盤管負責處理空氣,將迴風管道間之迴風降溫至無塵室要求之規格、調整至無塵室內所要求的參數。這時再運用FFU風機的超高效能過濾網過濾來循環空氣,帶動無塵室的氣流循環帶走微塵及熱量,從而達到潔淨度要求的換氣量,最後供應回無塵室內的Fab區。


無塵室供氣處理流程

講到這邊大家應該對無塵室的供氣有點概念了!
現在無塵室內空氣都調節好了之後,如何使人員能夠自由進出又能避免潔淨空氣被污染呢?
原來除了無塵室的溫濕度要控制之外,無塵室還得注意壓力!

 

正壓無塵室與負壓無塵室

無塵室又可分為正壓與負壓二種。
空氣流動是由氣壓高至氣壓低的地方流動,一般產業所使用的無塵室均為「正壓」型,設計為無塵室廠房內壓力大於室外壓力,其主要功用是為了防止室外的粉塵流動至無塵室內造成汙染。而生技廠房或醫院有時候會看見負壓無塵室的存在,原理相同;但需求相反。負壓無塵室主要是怕室內細菌外洩到室外,所以室內氣壓相對於室外氣壓必須為負(壓力低),意思即像是之前SARS、COVID-19期間常聽到「負壓隔離病房」。

 

無塵室正負壓差別

之前隆忠做過一案件是客戶的無塵室內做了很多隔間,每個隔間除了要維持正壓之外,每隔間壓力又不可一樣,因此必須將無塵室分區設定正壓。業主之前以FFU風機多寡去控制無塵室的正負壓,但效果不甚滿意,所以找我們隆忠來改善無塵室空調壓力控制


隆忠的工程師先是運用壓力計感知無塵室內對無塵室外的壓力差,並使用PLC可程式控制器撰寫程式去控制MAU、調整變頻器的轉速,使無塵室內能夠達到所設定的壓力值。各區依據室內正壓度自動調整該區空調箱的補氣風門,達成統一供風、分區控制潔淨無塵室正壓之目的。

 

我們隆忠企業對無塵室相關工程有著專業並且多年的自動控制廠務相關經驗,有任何相關廠務工程及無塵室工程需求,歡迎來訊/電

 

自動控制設計規劃師───隆忠企業
技術諮詢服務 | 電話: 06-243-7822

返回列表
TOP