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FFU?DCC?無塵室為何需要?

隆忠無塵室 潔淨室

FFU?DCC?這些是什麼?無塵室又為何需要?

一般大眾應該對「無塵室」這三個字既熟悉又陌生,熟悉可能是因為這名詞是科技業的高熱度關鍵字
;陌生可能是因為不知道無塵室實際上是怎麼運作的。

今天我們要跟大家聊聊無塵室!

在談無塵室本體之前, 我們需要先來認識幾個空調設備的縮寫 分別是:FFU / DCC / MAU

 

 

FFU是什麼

FFU(Fan Filter Unit)風機過濾機組是一種結合送風機與高效濾網氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備,用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒,提供所需之氣流循環與潔淨空氣。
廣泛用於無塵室、醫療院所、藥廠、航空業、食品業、研究單位、電子廠。

 

DCC是什麼

DCC(Dry Cooling Coil) 乾式冷卻盤管,簡稱簡稱爲乾盤管或乾冷盤管,控制室內溫度消除室內顯熱(人、照明、機械等產生的熱量)來控制室內溫度並為無塵室除濕,用於供給室內迴風提供冷量的設備。
主要應用在潔淨空調系統工程,主流用在無塵室空調系統。

 

MAU是什麼

MAU(Make-up Air Unit) 外氣空調箱,負責控制露點、製造無塵空氣,並確保無塵室保持正壓。在無塵室空調系統需由外界引入恆温恆濕的新鮮空氣,MAU送出端温度控制在18oC,濕度控制在8g/kg,空氣潔淨度大約在CLASS10~100,並非有固定控制值會視其生產產品機台特性而有差異。

 

一般而言,製造潔淨空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),需要再經過無塵室系統各種處理單元裝置之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。

簡單介紹MAU處理流程:
當MAU穩定供應設定露點之補氣時,室內之相對濕度可隨溫度達到設定值。外氣由MAU負責預濾、初濾、加濕、除濕、冷卻及再熱處理。初步過濾微塵並控制其溫溼度後,經由回風管道間,將無塵室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由DCC將回風管道間之回風降溫至無塵室要求之規格,透過FFU帶動無塵室的氣流循環帶走微塵及熱量,最後經過超高效能過濾網過濾後,供應回無塵室內的Fab區。

之前做過一案是無塵室內做了很多隔間,每個隔間除了要維持正壓之外壓力又不可一樣。我們將無塵室分區設定正壓,各區依據室內正壓度自動調整該區空調箱之補氣風門,達成統一供風、分區控制潔淨室正壓之目的。
我們隆忠企業於該領域已深耕多年,對無塵室相關工程有著專業並且多年的相關經驗,有任何相關需求,歡迎來訊/電

 

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