熱質式流量計

今天介紹的是──熱質式流量計

 

熱質式流量計:::考慮溫度和壓力值的測量方法
流體接觸到加熱後的物體時，會從物體上帶走熱量，流體的溫度得以升高。熱質式流量計利用這個原理來量測流量。

 

熱質式流量計可以分為兩類：

(1)溫差量測法
在流體中安裝一個加熱器，在上游與下游兩個點量測流體溫度。然後根據這兩點之間的溫差得出流量。這主要應用在流量低時。

(2)功耗量測法
在流體中安裝一個加熱器，在上游與下游兩個點量測流體溫度。透過對加熱器進行控制，使這兩個點之間的溫差保持恆定。流量是根據維持這個溫度所需的功率得出。

 

優點：
・能夠檢測氣體
・基本上沒有壓力損失
・可以量測質量流量

 

缺點：
・流體的溫度變化時會產生誤差
・設定與流體的類型和成分相匹配的規範比較困難
・當溫度感測器或加熱元件上有沈澱物、積垢時，會產生誤差

 

資料來源:KEYENCE

應用領域有半導體薄膜製程工廠節能目的單位耗能管理、主要用於控制半導體製程中的氣體。

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