流量計種類選用指南-熱質式流量計工程

 

今天介紹的是──熱質式流量計
熱質式流量計是運用熱量在氣體流動中傳導與對流的變化，也就是「熱對流原理」來量測流量。特別適用於需要非接觸式、氣體流量的測量。

 

熱質式流量計可以分為兩類：

(1)溫差量測法
在流體中安裝一個加熱器，在上游與下游兩個點量測流體溫度。然後根據這兩點之間的溫差得出流量。這主要應用在流量低時。

(2)功耗量測法
在流體中安裝一個加熱器，在上游與下游兩個點量測流體溫度。透過對加熱器進行控制，使這兩個點之間的溫差保持恆定。流量是根據維持這個溫度所需的功率得出。

 

熱質式流量計優點：
・能夠檢測氣體
・長期穩定性佳，適合長期連續監測
・維護簡單、可靠性高、靈敏度好

 

熱質式流量計缺點：
・流體溫度變化、氣體成分改變時會影響準確度
・對於瞬時變化可能反應速度較慢
・當溫度感測器或加熱元件上有沈澱物、積垢時會產生誤差，需定期清潔感測器

資料來源:KEYENCE

 

常用熱質式流量計應用領域有：半導體製程業、生物製藥、實驗室氣體分配系統....等等。更多流量計相關介紹：流量計種類選用指南
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